±50 SCCM至±750 SCCM

霍尼韋爾（中國）Zephyr?HAF系列傳感器提供模擬接口，用于讀取指定滿量程流量的氣流
補(bǔ)償溫度范圍。隔熱加熱器和溫度傳感元件可以幫助這些傳感器
提供對空氣或氣流的快速響應(yīng)。
Zephyr傳感器設(shè)計(jì)用于測量空氣和其他非腐蝕性氣體的質(zhì)量流量。標(biāo)準(zhǔn)流量范圍是
可提供±50，±100，±200，±400或±750 SCCM。也可提供定制流量范圍。傳感器完全校準(zhǔn)
并通過板載專用集成電路（ASIC）補(bǔ)償溫度。
HAF系列在0°C至50°C [32°F至122°F]的溫度范圍內(nèi)進(jìn)行補(bǔ)償，并在
溫度范圍為-20°C至70°C [-4°F至158°F]。至先進(jìn)的基于ASIC的補(bǔ)償提供模擬
響應(yīng)時(shí)間為1 ms的輸出。
這些傳感器根據(jù)傳熱原理運(yùn)行，以測量質(zhì)量空氣流量。它們由微橋組成
微電子和微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）具有沉積薄膜的溫度敏感電阻器
鉑和氮化硅。 MEMS傳感芯片位于精準(zhǔn)且精心設(shè)計(jì)的氣流通道中
提供可重復(fù)的流量響應(yīng)。